エキシマレーザー（Excimer Laser）とは希ガスやハロゲンなどの混合ガスを用いてレーザー光を発生させる装置である。元々は工業用として利用されていたが、最近ではレーシックなどの視力矯正手術においても利用されている。
希ガスはアルゴン、クリプトン、キセノンが、ハロゲンはフッ素、塩素が一般に使用される。混合ガス中でのパルス放電によって生成する励起状態希ガス原子とハロゲン原子によって形成されるエキシマからの放射光によってパルス発振する。
代表的なエキシマレーザーの発振波長は以下のとおりである。
ArF - 193 nm
KrF - 248 nm
XeCl - 308 nm
XeF - 353 nm
工業用の用途としては、機械加工や半導体製造におけるフォトリソグラフィがある。 また薄膜作製方法のひとつであるＰＬＤ法にも一般的に用いられている。
視力矯正手術において、エキシマレーザー光は波長が短いため、角膜の一部分を必要なだけ正確に除去することが可能である。レーザーといっても、熱を発するものではなく、衝撃波がないため、熱に弱い角膜組織に悪影響を与えることがない。したがってエキシマレーザーを使ったレーシック手術は痛みをほとんど伴わず、視力回復が早いという特徴がある。アメリカでは、1995年FDA（米国食品医薬品局）によって、日本では2000年1月に厚生省（現・厚生労働省）によってその使用が認可されている。また、エキシマレーザーに発がん性のないことが確認されている。
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